潔凈室等級標準和國際標準ISO14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
一、潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試：
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進行測試；靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試；動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試，潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測試
檢測前，應對潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進行徹底清潔。采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側(cè)靜壓箱內(nèi)(或風管內(nèi))粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。
測試內(nèi)容：總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;潔凈室壓力值;層流潔凈室斷面風速和氣流流向;潔凈工作區(qū)的潔凈度;室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測試;潔凈室內(nèi)噪聲。
潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。
三、動態(tài)測試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。
等級標準對照表
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空氣潔凈度等級
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大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m)
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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1
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10
|
2
|
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|
|
|
|
2
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100
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24
|
10
|
4
|
|
|
|
3
|
1000
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237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
|
10000
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2370
|
1020
|
352
|
83
|
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5（百級）
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100000
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23700
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10200
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3520
|
832
|
29
|
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6（千級）
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1000000
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237000
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102000
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35200
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8320
|
293
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7（萬級）
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352000
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83200
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2930
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8（十萬級）
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3520000
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832000
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29300
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9（一百萬級）
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35200000
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8320000
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293000
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