一、測試目的
1111氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
1111單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風速測量或是無塵室室內(nèi)風速測量。
二、 使用儀器
1111無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網(wǎng)風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉(zhuǎn)輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。檢驗儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。
三、 測試步驟
111 (1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。 (2) 取樣點位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。 (3) 每一個濾網(wǎng)下，若是使用單點式風速計，則每 1 平方英尺取一點；若是使用多點式風速計，則每 4 平方英尺取一點。 (4) 每測量點必須取 5 秒的平均。 (5) 依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。 (6) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。
四、數(shù)據(jù)分析
1111風速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
11111. 平均值：2. 標準差