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表面沉降粒子檢測(cè)儀APMON

基本信息
產(chǎn)地:荷蘭
訂貨量:≥1臺(tái)
價(jià)格:請(qǐng)咨詢?cè)诰客服
型號(hào):荷蘭 APMON 表面沉降粒子檢測(cè)儀
品牌:APMON

APMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理

檢測(cè)設(shè)備采用一定面積的內(nèi)置玻璃板承載墜落顆粒,玻璃板以45度角放置,這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過(guò)程就會(huì)被全部檢測(cè)到,APMON檢測(cè)儀對(duì)大于20μm的沉積顆粒的數(shù)量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)測(cè)量得出平均顆粒沉積率。

測(cè)量的數(shù)據(jù)能夠幫助解決潔凈室常規(guī)手段監(jiān)控不到的污染成分,并能幫助優(yōu)化用戶的生產(chǎn)流程。

當(dāng)產(chǎn)品突發(fā)性不良率上升時(shí),首先會(huì)懷疑潔凈室的空氣潔凈度,使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)是常規(guī)作法。如果測(cè)量結(jié)果正常,就要進(jìn)行更進(jìn)一步的調(diào)查。

通過(guò)對(duì)表面潔凈度和粒子沉降的測(cè)量顯示很多顆粒的尺寸大于50μm或100μm,而這些大尺寸顆粒的來(lái)源通常是操作者和潔凈室不潔凈的表面,一般尺寸大于25μm的墜落顆粒是不能通過(guò)潔凈室空氣循環(huán)系統(tǒng)排出的。

沉降粒子的來(lái)源:人員產(chǎn)生粒子、攜帶高濃度粒子、散發(fā)粒子;設(shè)備和物料產(chǎn)塵或表面存在粒子;潔凈室材料表面存在粒子等,通過(guò)改善個(gè)人行為、更衣流程、培訓(xùn)、清潔生產(chǎn)加工設(shè)備、清潔工具和潔凈室,可明顯降低不良品率。

APMON表面沉降粒子監(jiān)測(cè)儀主要包括以下部分:

設(shè)備主體     傳感器

玻璃板托盤(pán)

APMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理:檢測(cè)設(shè)備采用一定面積的內(nèi)置玻璃板承載墜落顆粒,玻璃板以45度角放置,這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過(guò)程就會(huì)被全部檢測(cè)到,APMON檢測(cè)儀對(duì)大于20μm的沉積顆粒的數(shù)量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)測(cè)量得出平均顆粒沉積率。

測(cè)量的數(shù)據(jù)能夠幫助解決潔凈室常規(guī)手段監(jiān)控不到的污染成分,并能幫助優(yōu)化用戶的生產(chǎn)流程。

 

APMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理 主要技術(shù)參數(shù)如下

參數(shù)    型號(hào)

APMON

可檢測(cè)粒子范圍

20μm~1000μm

測(cè)量表面

25cm²

PDR(顆粒沉降率)

99%置信區(qū)間±6%

儲(chǔ)存數(shù)據(jù)

10000組

設(shè)備連接傳感器的最大數(shù)量

以太網(wǎng)連接 6個(gè)

藍(lán)牙連接 2個(gè)