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10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間空氣參數(shù)要求

無(wú)塵車(chē)間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。那么10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間作業(yè)環(huán)境有哪些規(guī)定?
  10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間作業(yè)環(huán)境規(guī)定如下:
  1、無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)溫度:21℃-25℃,濕度:50%-70%,每天要有溫度表記錄。
  2、落塵量檢測(cè)每三個(gè)月委外檢測(cè)并附檢測(cè)結(jié)果至公司管理部存檔。
  3、作業(yè)員上下班前10分鐘將各自工位環(huán)境進(jìn)行清潔處理(含加班時(shí)間),由主管級(jí)人員不定期審核確認(rèn)。
  10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
  (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2 ℃ ,相對(duì)濕度為55+5%
  (2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。
  3)送風(fēng)量大。為了滿足無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
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