在百級(jí)潔凈室內(nèi)，按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù)：
1、空氣中的潔凈粒子濃度（一般用美國(guó)TSI塵埃粒子檢測(cè)儀進(jìn)行檢測(cè)）；
2、氣流的風(fēng)速和單向性（對(duì)單向氣流而言）；
3、不同潔凈度級(jí)別的潔凈室之間和潔凈室與普通房間之間的壓差；
4、最終過(guò)濾器的整體性；
5、潔凈室經(jīng)污染后空氣潔凈度的自凈時(shí)間；
6、空氣溫度和濕度；
7、潔凈室的密閉性；
8、潔凈室表面的潔凈度；
9、靜電荷和離子發(fā)散；
10、空氣中和表面的微生物污染；
11、空氣中和工藝的分子污染。
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